518系列高性能2D高度仪
型号：518-341DC

特点：

*分辨率为0.1/0.5μm时，精度可高达(1.3+0.6L/600)μm；

*确保垂直度（前部）达6μm，直线度达4μm；

*全/半空气浮动系统可调节气垫；

*带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，
可实现外部测量数据评估；

技术参数：