具体型号

QVC400L

测量行程(X/Y/Z)(mm)

400x300x150

激光测头精度

<0.5μm

激光测头型号

S/T

X、Y轴精度

E2=(3+L/200)μm

X、Y轴重复性

<3μm

Z轴精度

E1=(3+L/200)μm

Z轴重复性

<3μm

X、Y轴加速度

0-250mm/s^2

Z轴加速度

0-110mm/s^2

X、Y轴速度

0-150mm/s

Z轴速度

0-50mm/s

光学尺分辨率

1μm(0.5μm可选)

A轴转动范围

360°

A轴转动最大速度

25°/s

A轴转动分辨率

0.00125°

A轴重复定位精度

<0.005°

工作台材质

硬铝合金

台面承重

30kg

底座材质

花岗岩

整机尺寸(mm)

620x790x875

整机重量(kg)

180

运动控制方式

半闭环

使用环境

电源供给：110V～220V±10%　50/60HZ　温度：20℃　湿度：45%～75%

保固期

1年