半自动平行光曝光机机CCD自动对位
半自动平行光曝光机CCD自动对位特性
< 适用于内外层干膜制程
< 高解析度2/2mil
< 平行光5KW单灯光源
< 伺服传动双框架
< 上下底片对位精度+/-15um
< PCB对位精度+/-25um
< 安全光栅保护系统
< UV防漏光装置
< 专利快速开框设计
半自动平行光曝光机CCD自动对位规格
- 曝光:双面双框架
- 光源:平行光光源
- PCB尺寸:622*546mm
- PCB厚度:0.1~3.8 mm
- 底片尺寸: 622*546mm
- 感光剂型态:干膜
- CCD数量:4PCS
- 底片重复精度:±15um
- PCB对位精度:±25 um
- 无尘室要求: CLASS 10000
- 曝光最大升温:Max 2°C
- 能量的均匀性:>85%
- 平行半角:≤1.5°
- 倾斜角:≤2°
- 灯:短弧超高压水银曝光灯
- 灯的数量:5KW灯一支
- 灯管波长:365nm
- 底片吸附:真空吸附
- 板子的曝光:板子曝光时需要周片垫板
- 触控屏:中英文触控屏
- 控制系统:工业电脑控制系统
- 玻璃:光学强化玻璃
- 采用电源:380V,50HZ,15KVA
- 采用气源:Elow 150-200L/Min∮12 0.55MPa
- 采用冷却水:2.5-3KG,7-12°C Flow 60L/min,1″pipe
- 机台尺寸:1410*3360*2120mm