万级洁净室内的噪声级空态不应大于65dB(A)
●电子制造厂净室内垂直流洁净室满布比不应小于60%水平单向流洁净室不应小于40%否则就是局部单向流了。
●电子制造厂净室内与室外的静压差不应小于10Pa不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 电子制造行业万级净室内内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。 电子制造行业洁净室净化空调系统加热器应设置新风超温断电保护若采用点加湿时应设置无水保护寒冷地区新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量应取下面三项最大值
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量
●根据热湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量
●向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量