应用： 
◆半导体及相关领域。

E-Square公司致力于提供专业的电浆（Plasma）清洗解决方案，公司生产的常压电浆清洗设备以其专业可靠的品质赢得了市场的一致认可。

◆无尘； 
◆低温处?(基板上升温?:常温~5℃)； 
◆无伤害(与UV灯处?相同程?) ，已申请专?； 
◆无静电放电(处?后的ESD值为0~50V以内，由于正、负离子的产生，故处?前?需要负离子空气净化器装置)； 
◆2?内免维修(2?一次的点检作业)； 
◆小型、重?轻； 
◆装置稼动?99.5%以上； 
◆反应装置的部分几乎可永久使用。