提供各类蚀刻及半导体相关非金属零件(非OEM),主要材料是陶瓷、石英和碳化硅等。可用于CVD, PVD, Dry Etch, RTP等各种主要机台上。相比同类OEM产品,更具成本优势。目前已通过国内众多一流制造型客户的使用和测评并获得一致认可。是企业在经济下降周期中的明智之选。
特点:
◆质量可靠
◆价格经济
◆交货迅捷
◆加工精密
◆客户定制服务
◆通过ISO 9001:2000质量控制体系认证
材料:
◆精密陶瓷:Al2O3、 ZrO2、Cubic Zirconia、SiC、Si3N4、AlN、BN、B4C、BN+EC、SiO2、Y2O3、Cr2O3、Al2O3-TiO2等;
◆石英:GE 124、GE 214、GE 224;
◆蓝宝石, 红宝石, 石墨和硅材料;
◆金属和超耐热不锈钢: W等; WC等;Ni-alloy等;Co-alloy等; SUS等;Al等;Mg-alloy等;
◆工程塑料: PVDF等;PTFE等;PEEK等;VESPEL等;PAI等;PBI等;UPE等;
◆超导体材料和其它。