日本Ushio 公司是全球的半导体光刻设备光源供应商,占有最大份额。 特点:◆生产工艺精湛;◆产品稳定性高;◆具有长寿命高光强维持率。 应用:◆ASML、CANON、Ultratech、Nikon等大型光刻机;◆Suss、NXQ等小型光刻机。
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