日本Ushio 公司是全球的半导体光刻设备光源供应商，占有最大份额。 

特点：
◆生产工艺精湛；
◆产品稳定性高；
◆具有长寿命高光强维持率。 

应用：
◆ASML、CANON、Ultratech、Nikon等大型光刻机；
◆Suss、NXQ等小型光刻机。