真空镀膜设备用高温绝缘PEEK配件

    真空镀膜设备中常用的PEEK配件形式有：PEEK绝缘垫板、PEEK绝缘座、PEEK绝缘套、PEEK绝缘端套、PEEK绝缘环、PEEK轴承座、PEEK绝缘座芯等

目前真空镀膜技术中所采用的镀膜方法主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、束流沉积镀以及分子束外延和化学汽相沉积镀。

     而不管哪一种真空镀膜方法，在真空室内都会有这些特点：1、产生高温；

2、有交流或直流电流存在，为了保证安全性，镀膜室内的金属件在于外部结构件之间需要增加一层绝缘层，以实现安全性；

3、对镀膜室的真空度有要求
     这样就需要有一种材料即能满足耐高温要求，同时要求在高温下有良好的电气绝缘性和热变形温度，以实现良好的密封性

 PEEK属于一种高性能的聚合物具有以下特性：

1、          耐高温： 长期使用高达 260℃

2、          电气绝缘性，虽然电气性能被描述为热塑性材料的典型性能，但是PEEK在宽广的温度和频率范围内保持这些优良的绝缘特性  

3、          高温下良好的密封性，尺寸稳定，PEEK熔点高达343℃，热变形温度超过300℃，高温下能保持良好的尺寸稳定性，从而保证实现良好的密封性