采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，

也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：

原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点