型号

QV Apex302PRO

QV Apex302PRO3

Hyper QV302PRO

QV Apex404PRO

QV Apex404PRO3

Hyper QV404PRO

QV Apex606PRO

QV Apex606PRO3

Hyper QV606PRO

测量范围

X轴

300mm

400mm

600mm

Y轴

200mm

400mm

650mm

Z轴

200mm

250mm

250mm

分辨率

0.1um(0.02um)

高灵敏度CCD照相机

黑白（PRO3型号：彩色）

精度

E1XV

(1.5+3L/1000)um[(0.8+2L/1000)um]

E12

(1.5+4L/1000)um[(1.5+2L/1000)um]

E2XY

(2+4L/1000)um[(1.4+3L/1000)um]

照明

（PRL:可编程环形照明）

表面

LED,RGB(PRO3型号：卤素灯)

轮廓

LED，白色(PRO3型号：卤素灯)

PRL

LED,RGB(PRO3型号：卤素灯)

放大倍率转换系统

可编程电动转盘

工作台玻璃尺寸

399×271mm

493×551mm

697×758mm

最大工作高度

200mm

250mm

250mm

台面最大承重

20Kg(15Kg)

40Kg(30Kg)

50Kg(40Kg)

尺寸(W×D×Hmm)**

859×951×1609

1027×1407×1778

1309×1985×1799

重量**

360Kg

579Kg

1450Kg