总长精度：±3.0μm；
图形尺寸精度：±1.0μm ～±3.0μm
图形位置精度：±1.0μm ～±3.0μm
线条精度：±1μm； 
缝宽均匀度：≤1μm；

最大尺寸：600mm×800mm

应用领域：专业用于测量仪器在测量的时候进行标准化校准，即仪器测量工件前对仪器进行校对，以此校准片作为标准样品，根据距离对应关系得到标准的数值，对于PCB板，五金电镀，2次元，3次元，显微镜，贴片机等测量，定位仪器起到很重要的作用。

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