1.主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。

2.所有元器件及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。

3.真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。

4.自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录，适合维护，可以提供工艺参考。

5.可存储50组工艺配方，随意调用。

6.清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。

7.工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。

8.一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。

9.自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。

10.气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0～m可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。11.根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等,电极结构高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。