测微传感器，是以高精度光栅作为检测元件的精密测量装置。与数显表配套，组成高精度数字化测量仪器。可以代替机械式千分表、扭簧比较仪、深度尺、电感测位移和精密量块，配以适当的转换器，可将温度、压力、硬度、重量等参数转换为数字量。用于自动化大生产中在线监测及精密仪器的位置检测。其优点是测量值数字化显示，精度高，稳定可靠，读数直观准确。亦可把测量数据输入计算机打印出测量数据或绘出曲线。 一、 主要技术参数： 1． 测量范围：0~10 0~20 0~30 0~40 0~50（mm） 2． 栅 距：10um(100对线/毫米)，20um（50X寸线/毫米） 3． 显示分辨率：0.5um,5um，1um 4． 准 确 度：±1um, ±2um 5． 重复精度：±1个显示值 6．输出信号：相位依次相差90°幅值大于500mv二路或四路脉冲信号，无绝对参考零位 7．光 源：红外发光二极管 8．接收元件：组合光电二极管 9．工作温度：0℃~40℃ 10．储存温度：-20℃~70℃ 11．外形尺寸：长*宽*厚=L*42*22（mm）,L0测杆伸出长度。 测量范围 0~10 0~20 0~30 0~40 0~50 L 130 160 190 220 250 L0 23 33 43 53 63 二、使用安装 光栅测微传感器主要用于高精度测量。使用时除保证环境条件外，正确的安装与使用不仅保证测量精度，还能延长使用寿命。光栅测微传感器正确安装位置是测杆朝下或水平放置。安装固定方式有两种：①以螺钉固定，固定孔中心距为22±0.2mm。②以①15轴夹紧。安装固定后，测杆中心线垂直于被测工件。 使用时，测头接触基面，数显表清零，轻轻提起测杆，当测头接触被测工件表面时，数显表显示值就是测量值。切忌快推或快速释放测杆，以免损坏光栅或因撞击影响传感器精度。 三、故障分析处理