日本SCHOTT液晶定向膜检查器LYS-LH30S

• 液晶ディスプレイの表示不良の一つである配向膜の不良を高速に評価?検査
• 貼り合わせ前の配向不良検査により歩留り改善
• 配向層と無配向層の厚さ測定も可能（GE法）
• TFTやカラーフィルター上の配向膜測定も可能
• オートフォーカスやあおり調整など、補助機能も充実
• 卓上型とヘッド回転型の2機種を用意

• LCDの製造ラインにおける工程管理
• LCD開発、配向膜?液晶材料開発における配向評価
• 高分子膜や有機薄膜の異方性?配向評価 

  仕様

  品名光源受光素子ビーム径測定モード測定分解能膜厚測定範囲

  LayScan

  半導体励起レーザ（クラス3B）

  光電子倍増管

  約φ10um

  高速モード（SMP法）、解析モード（GE法）

  配向方位角：0.1度 傾斜角パラメータ：0.2度 膜厚：0.1nm、屈折率：0.001

  1nm～1um　※但し試料により異なる

  測定項目

  測定モード測定項目配向方位角異方性の大きさ傾斜角屈折率膜厚高速モード(SMP法)解析モード(GE法)

  ○	○(相対値)	○(相対値)	-	-
  ○	-	○	○	○

  測定例測定例1 【押し込み量 v.s. 異方性の大きさ】

  SMP法による配向膜測定はラビング工程の管理に非常に有効です。下のグラフはラビングの押し込み量の増加（横軸）に伴う異方性の大きさの変化（縦軸）を表したグラフです。

  異方性の値に閾値を設定する事で、ラビング強度を厳密に管理する事ができます。

  

  測定例2 【マッピング測定】

  試料を格子状に多点測定します。設定は非常に簡単で、配向ムラやラビングスジの検出など、従来見ることのできなかった配向膜の様子を簡単に見ることができます。

  

  ラインナップ

  

  機種LYS-LS10SLYS-LH30Sカスタマイズ方式試料サイズ測定モードフォーカス調整あおり調整本体寸法 WｘDｘH本体重量ユーティリティー商品コード

  試料台回転方式	測定ヘッド回転式	測定試料、基板サイズなど、お客様の用途に合わせたカスタマイズも可能です。
  ～100x100mm	～300x300mm
  SMP法?GE法
  自動ステージによる
  手動ステージによる	自動ステージによる
  610×660×860mm	1190×1092×2295mm
  約120kg	約1000kg
  AC100V	三相200V
  A-1559	A-1560