1 装载抽气时间（满装炉抽至工作压强50Pa）：≤30min
2 极限真空度：6.7 Pa。
3 压升率：≤1.3×10-1Pa
4 设备有效工作区域：φ1000×H1200
5 设备允许最高使用温度：650℃，
6 最大装炉量：1000Kg
7 工作电压：0～1000V连续可调。
8 平均电流：0～75A连续可调。
9 最大输出峰值电流：0～150A连续可调。
10 输出波形：矩形方波。
11 输出频率：1KHZ。
12 占空比：0-85%连续可调。
13 灭弧时间：≤15μs。
14 控制方式：定频调宽。
15 灭弧性能应可靠，不允许出现弧光损坏工件现象。
16 自动控制参数：温度、压强、气体流量、电源电压、电流、时间等。
17 温度控制方式:在触摸屏上给定温控参数，系统自动控制。由三菱PLC与日本岛电温控表自动完成PID调节，温控精度±1℃。
18 压力控制方式：在触摸屏上给定压力参数，系统自动控制。由三菱PLC与七星华创质量流量计自动完成PID调节，压力控制精度±1Pa。
19 电压控制方式：在触摸屏上给定电压参数，系统自动给定电压。
20
温度、压力、流量的显示：温度、压力、流量直接由岛电温控表、真空计数显仪、流量计显示仪读出，也可在触摸屏上读出。
21 真空系统：由真空泵、维持系统、供气调节系统、真空测量组成。真空泵选用广东中环真空泵有限公司银奖产品。
22 供气系统：由不锈钢氨减压阀、质量流量计、高真空蝶阀、电磁真空带放气阀、真空管路组成
