外形尺寸:63x63mm
有效面积尺寸:48x48mm
格子尺寸:1x1mm
厚度:2mm
棋盘格标定板:
外形尺寸(mm) | 方格尺寸(mm) | 外形尺寸(mm) | 方格尺寸(mm) |
63ⅹ63 | 1ⅹ1 | 63ⅹ63 | 2ⅹ2 |
63ⅹ63 | 3ⅹ3 | 63ⅹ63 | 4ⅹ4 |
63ⅹ63 | 5ⅹ5 | | |
100ⅹ100 | 4ⅹ4 | 100ⅹ100 | 5ⅹ5 |
125ⅹ125 | 2ⅹ2 | 125ⅹ125 | 5ⅹ5 |
200ⅹ200 | 4ⅹ4 | 200ⅹ200 | 5ⅹ5 |
206ⅹ206 | 3ⅹ3 | 300ⅹ300 | 3ⅹ3 |
300ⅹ300 | 20ⅹ20 | 351ⅹ351 | 1.35ⅹ1.35 |
总长精度:±3.0μm;
图形尺寸精度:±1.0μm ~±3.0μm
图形位置精度:±1.0μm ~±3.0μm
线条精度:±1μm;
缝宽均匀度:≤1μm;
最大尺寸:600mm×800mm
应用领域:专业用于测量仪器在测量的时候进行标准化校准,即仪器测量工件前对仪器进行校对,以此校准片作为标准样品,根据距离对应关系得到标准的数值,对于PCB板,五金电镀,2次元,3次元,显微镜,贴片机等测量,定位仪器起到很重要的作用。
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