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技术简介
1、技术来源
  多功能超硬薄膜工模具涂层装备，完全自主产权，2006年授权专利，国家“十一五”科技支撑计划-2008BAF2B06-高速高效刀具表面改性技术支持项目。（参研单位四川大学、上海工具厂有限公司、成都工具研究所）

2、技术特点

（1）全部国产硬件

（2）国内原材料

（3）可实现多层、纳米多层及复合膜的制备

（4）涂层种类TiN、、TiA1N、A1TiSiN、A1CrSiN、CrN、ZrN、TiSiN等

（5）工业化生产能力，Φ60×80滚刀每炉可装载48件

（6）适合于各类工模具镀膜

3、技术先进性

（1）全新的设计理念，独特的设备构造，自主的知识产权

（2）沉积速率1-2μm/h，涂层厚度2-4μm,膜基结合力50-80N

（3）致密的薄膜组织，光整的表面形貌

（4）涂层性能与国际先进水平等同

（5）适宜的生产周期

（6）低的维护费用，低的生产成本

（7）良好的重复性及工艺稳定性，可靠性高于95%

（8）镀膜材料的适应性强

（9）可实现多种薄膜的制备

技术支持

1、真空室

（1）304不锈钢，有效镀膜空间800×600×300mm

（2）304不锈钢工件夹具，公自转（可根据使用情况特殊设计）

（3）靶源2对，300×100

（4）辅助多功能源一套

2、真空系统

（1）系统采用三级真空泵机组，机械泵2X-70、罗茨泵150、扩散泵K-400T或分子泵

（2）阀门系统含高阀、前级阀、预阀为气动，机械泵充气阀为压差阀、真空室放气阀为气动阀

（3）真空测量：复合真空计、含2个热偶规、1个电离规

（4）反应气体控制：三通道流量控制、含控制器、显示仪、截止阀

3、电源控制系统

（1）真空系统控制柜一台

（2）辅助多功能控制柜一台

（3）辅助增强电压控制柜一台

（4）蒸发源控制柜一台

设备配置

1、可提供整套设备（包含涂层设备主机、清洗机、喷泵机、空压机、冷水机组、划痕仪、球痕仪、显微镜等）

2、可提供各类工艺技术(包含清洗工艺技术、各种涂层工艺技术、退镀工艺技术、涂层质量检测工艺技术及涂层工模具合理应用技术）

3、可提供各种技术文件（包含设备使用说明书、设备操作维护手册等）

4、可提供人员培训(操作及设备维护培训。内容包括：真空理论、清洗及涂层工艺、实际上机操作、涂层质量检测、设备维修保养及故障处理）

5、可提供涂层加工服务