搬运机器人销售热线18300043890 卢生
是
12
寸厂内部生产线上的装
lot
的盒子
(
在台湾
8
吋
SMIF
晶圆盒
(POD)
的需求量约有新台币
3
～
5
亿
元的市场，未来
12
吋
SMIF
晶圆盒
(FOUP)
的需求量预估为每年
6
万个
)
。在超净环境中，晶圆被密封在称
作
FOUP
(front-opening unified pods)
的容器中。带有彩色编码的容器代表晶圆将进入不同的制程。每个
FOUP
有一个序列号以识别晶圆，
写得不好，请大家多多指教。
$ I$ I5 N4 l0 z
1 v" ~
+ w
OHS
（
Over Head Shuttle
）
可以在安装在天井下轨道上高速移动的自动搬运装置。
3 _4 L+ P1 r(
R; z
M6 y1
o, d8
一般是用于成膜、洗浄等各个保管设备间
FOUP
搬运。
/ w- @8 x, b! `9
OHT
（
Overhead Hoist Transfer
）
是安装在天井下轨道下高速移动的自动搬运小车。
由升降装置马达驱动
BELT
，使
GRIPPER
自动抓取设置在
port
的
foup
。
这是
300mm
晶圆厂运用最广泛的搬运工具。
GRIPPER
有不同的类型可以搬运不同类型的
foup
。
从第一代
10
几年前只能低速走行单线轨道，
移载设置于其正下方
port
的
foup
，
到第二代可以高速走行在分歧轨
道，
!
第三代不仅可以走行在分歧轨道，还可以左右移载设置在
STS
，
UTS
上的
FOUP,
*
@!
再到第四代
450mm
搬运小车，
更新速度可谓非常之快。
中国国内半导体厂商使用第一代，第二代自动搬运小车，目前国内还没有使用第三代自动搬运小车的客户。
AGV
（
Automated Guided Vehicle
）
9 T/ s# p, G3 f
车上安装了多关节手臂机器人，用于搬运保管设备和制造设备之间的
foup
。
本搬运小车由于安装了大容量的电池，可以自动走行在工厂的地板上，并按照程序设置，可以走行比较复杂的路
径。
- j% D J%
C7 V,
台湾，韩国有半导体厂商很多使用这种小车的案例。
5 b, L0 ], S, C+
V, _
RGV
（
Automated Guided Vehicle
）
本小车走行在安装在地板上的轨道，可以高速搬运保管设备和制造设备之间的
foup
。
K, X6 z# k$
Q: n-
k3 v
和
AGV
同样搭载了多关节手臂机器人，但是小车走行速度大大高于同类型的
AGV
。
韩国半导体厂商有使用这种小车的案例。
!
STOCKER
- L
是
fab
里面的一时自动保管仓库。
0 B @: O
' u) j
0 a. K
; a5 i
+ G4 ?
可以把半成品的硅片暂时存放于此。
有好几种类型。
其中一种塔形仓库可以实现
foup
楼层之间的搬运。
以后有空再说说
FPD
工厂的搬运机器人
