规格（开型）

内外圈：表面硬化奥代体不锈钢

球：氧化物类陶瓷或氮化硅陶瓷

保持架：氟基树脂

润滑：固体润滑（氟基）

用途

腐蚀工况……清洗设备（蚀刻设备除外）

非磁性工况……电子束绘图设备、电子束曝光设备、检验设备

使用须知

用于轻载工况

相对导磁率（u）为1.01以下。如需完全非磁性（相对导磁率u=1.001),请选用钛合金轴承。

标准ESA轴承的径向内部游隙为：最小CN--最大C4；小型轴承则为：最小MC3--最大MC5。

耐腐蚀（药液、弱酸、碱性）、非磁性，工作温度为--200度，极限转速为dmn=2万，不锈钢轴承额定载荷CH的2%。

特长

氟基固体润滑（无润滑脂）

耐蚀性及硬度优于旧型不锈钢SUS440C轴承

非磁性（与旧型非磁性不锈钢轴承等同）
胜任大气--10-6帕工况

比完全非磁性钛合金轴承便宜。

性能

与以往的材料比较