特性：

1．  金属与有机材料镀膜装置。

2．  真空排气设备的多种组合。

3．  强化安全性与可靠性。

4．  多层镀膜与同时镀膜（：4层）还配有额外蒸发电源与电极。

5．  玻璃钟罩方便观察与维护。

应用：

1． 电子材料,半导体，太阳能电池的基础研发。

EL有机层薄膜研发