德国英福康UL1000真空检漏仪氦检漏仪(图)
上海森懋机械设备有限公司
中国 上海
产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌/型号
英福康/UL-1000
类型
气体检漏仪
INFICON UL1000型氦检漏仪龙期适用于元器件的要求：灵活性测试、高灵敏度、快速与的结果、快速启动、移动性和系统的可靠性。
UL1000符合微电子工业市场的要求，其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，至I
·CAL*，无与论比的、用于消除在超高灵敏漏率范围中长平衡时间的程序。
系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比降低并消除氦污染。
I
·CAL的超速检测功能 （Intelligent Calculation Algorithm of Leak rates智能化漏率计算程序） 采用名为I
·CAL的特殊软体程序，UL1000提供在10-12毫巴
·升/秒范围内无比优越的测量速度，使它成为真正有效的量程。而其它氦检漏仪必须经数分钟讯号平衡后达到所要求的稳定度。配备了I
·CAL的UL1000在这样低的测量范围中具有无与伦比的测试速度与稳定度。
例如：从本底读值为1*10-12毫巴
·升/秒开始，显示一个漏率为1*10-10毫巴
·升/秒的超细微漏孔的时间少于一分钟。
方便的可转动显示器 UL1000具有可转动的控制界面。装在仪器上的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果与状态信息，这样可远距离方便的观察读值。
显示模式可选项用数位、条图或趋向曲线。执行最重要的基本功能（启动，抑零，停止）只需按一下按钮，菜单式控制软件，易于使用。
甚为方便的移动方式 低重心、大轮子、位置适当的手把和光滑的轮廓确保在工作场所随意移动。仪器的机动灵活性将不受地面槽坑或障碍如小台阶、门槛或电缆等的影响。
连接口位于一侧 为方便安装，全部电气与机械连接口均位于仪器的一侧，方便操作人员。
可靠性甚高的真空系统 真空系统包括前级泵和高压缩比的涡轮分子泵，高抽速加上涡轮泵的高入口压强，使系统可快速地达到低于不合格漏率的压强值而开始检漏，涡轮泵的多气体入口允许按被试元件中的压强条件使检测限值达到最佳化，高抽速的真空系统使元器件背压测试的周期达到最短。
通过E-mail升级软件 系统软件可通过E-mail进行升级，通过接口在数分钟内将新的软件安装在您好的计算机上。
离子源三年保修期 采用特殊材料制成的双灯丝离子源抗氧化能力强、非常耐用。在测量过程中UL1000独特的结构设计保护离子源防止空气侵入、污染以及其它可影响灯丝使用寿命的因素。
INFICON对离子源提供三年的保修期。
应用： 集成电路和半导体元件封装的气密性检测、继电器、传感器和连接件的气密性检测 真空零部件检漏、真空系统的检漏 功能强大的检漏盒控制器 采用带显示屏OMPON PLC控制器做主控制器 自动检测检漏盒盖开、闭状态，检漏完成后自动对检漏盒进行放气 可在可编程终端显示器上设定控制漏率、漏率单位、检漏时间、试品编号、检漏盒工作方式以及打印参数和实时时钟。
检漏完毕后，根据所设定的控制漏率自动判断试品是否合格，并将最终漏率、是否合格信息、试品编号以及试验日期通过打印机打印。若不合格（漏率高于设定漏率）还可声光报警。
可保存130组检漏数据，并可以随时打印、查询。所有操作均有中英文菜单提示，根据提示可以方便地对控制器进行参数设置及操作控制。可能过RS232接口与用户计算机连接。
技术参数： 最小可检漏率（按AVS2.1和EN1518S标准） 〈 5*10-13帕
·米3/秒 〈 5*10-12毫巴
·升/秒 最小可检漏率（吸入器模式） 〈 1*10-8帕
·米3/秒 〈 1*10-7毫巴
·升/秒 入口压强
GROSS、FINE、ULTRA 1500帕、100帕、10帕 抽速
在抽空过程中
入口处的氦抽速（EN1518） 16米3/小时
2.2-4升/秒 检漏盒尺寸 ￠ 100*50MM 完成一次检漏周期的时间(使用标准尺寸的空检漏盒) 〈 6秒（漏率为10-10帕
·米3/秒 可检质量数 2，3，4amu
氢，3氦，氦 电源电压 110-120伏；220-240伏 重量 110KG；242磅 尺寸，包括手把（长*宽*高）
UL1000符合微电子工业市场的要求，其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，至I
·CAL*，无与论比的、用于消除在超高灵敏漏率范围中长平衡时间的程序。
系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比降低并消除氦污染。
I
·CAL的超速检测功能 （Intelligent Calculation Algorithm of Leak rates智能化漏率计算程序） 采用名为I
·CAL的特殊软体程序，UL1000提供在10-12毫巴
·升/秒范围内无比优越的测量速度，使它成为真正有效的量程。而其它氦检漏仪必须经数分钟讯号平衡后达到所要求的稳定度。配备了I
·CAL的UL1000在这样低的测量范围中具有无与伦比的测试速度与稳定度。
例如：从本底读值为1*10-12毫巴
·升/秒开始，显示一个漏率为1*10-10毫巴
·升/秒的超细微漏孔的时间少于一分钟。
方便的可转动显示器 UL1000具有可转动的控制界面。装在仪器上的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果与状态信息，这样可远距离方便的观察读值。
显示模式可选项用数位、条图或趋向曲线。执行最重要的基本功能（启动，抑零，停止）只需按一下按钮，菜单式控制软件，易于使用。
甚为方便的移动方式 低重心、大轮子、位置适当的手把和光滑的轮廓确保在工作场所随意移动。仪器的机动灵活性将不受地面槽坑或障碍如小台阶、门槛或电缆等的影响。
连接口位于一侧 为方便安装，全部电气与机械连接口均位于仪器的一侧，方便操作人员。
可靠性甚高的真空系统 真空系统包括前级泵和高压缩比的涡轮分子泵，高抽速加上涡轮泵的高入口压强，使系统可快速地达到低于不合格漏率的压强值而开始检漏，涡轮泵的多气体入口允许按被试元件中的压强条件使检测限值达到最佳化，高抽速的真空系统使元器件背压测试的周期达到最短。
通过E-mail升级软件 系统软件可通过E-mail进行升级，通过接口在数分钟内将新的软件安装在您好的计算机上。
离子源三年保修期 采用特殊材料制成的双灯丝离子源抗氧化能力强、非常耐用。在测量过程中UL1000独特的结构设计保护离子源防止空气侵入、污染以及其它可影响灯丝使用寿命的因素。
INFICON对离子源提供三年的保修期。
应用： 集成电路和半导体元件封装的气密性检测、继电器、传感器和连接件的气密性检测 真空零部件检漏、真空系统的检漏 功能强大的检漏盒控制器 采用带显示屏OMPON PLC控制器做主控制器 自动检测检漏盒盖开、闭状态，检漏完成后自动对检漏盒进行放气 可在可编程终端显示器上设定控制漏率、漏率单位、检漏时间、试品编号、检漏盒工作方式以及打印参数和实时时钟。
检漏完毕后，根据所设定的控制漏率自动判断试品是否合格，并将最终漏率、是否合格信息、试品编号以及试验日期通过打印机打印。若不合格（漏率高于设定漏率）还可声光报警。
可保存130组检漏数据，并可以随时打印、查询。所有操作均有中英文菜单提示，根据提示可以方便地对控制器进行参数设置及操作控制。可能过RS232接口与用户计算机连接。
技术参数： 最小可检漏率（按AVS2.1和EN1518S标准） 〈 5*10-13帕
·米3/秒 〈 5*10-12毫巴
·升/秒 最小可检漏率（吸入器模式） 〈 1*10-8帕
·米3/秒 〈 1*10-7毫巴
·升/秒 入口压强
GROSS、FINE、ULTRA 1500帕、100帕、10帕 抽速
在抽空过程中
入口处的氦抽速（EN1518） 16米3/小时
2.2-4升/秒 检漏盒尺寸 ￠ 100*50MM 完成一次检漏周期的时间(使用标准尺寸的空检漏盒) 〈 6秒（漏率为10-10帕
·米3/秒 可检质量数 2，3，4amu
氢，3氦，氦 电源电压 110-120伏；220-240伏 重量 110KG；242磅 尺寸，包括手把（长*宽*高）
