ZCS1100
纳米位移传感器ZCS1100简介

纳米位移传感器主要特点
纳米级分辨率;
线性0.08%;
灵敏度可调;
量程:240µm;
分辨率:0.1nm;
供电:±15VDV;
高性能、成本低,尺寸小巧;
纳米位移传感器应用领域
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。

纳米位移传感器ZCS1100是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,纳米位移传感器创新的电容位移测量技术,提供了纳米测量能力,成本低,适合测量任何导电目标。
从能量转换的角度而言,纳米位移传感器电容变换器为无源变换器,需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。力学量中的线位移、角位移、间隔、距离、厚度、拉伸、压缩、膨胀、变形等无不与长度有着密切联系的量;这些量又都是通过长度或者长度比值进行测量的量,而其测量方法的相互关系也很密切。另外,在有些条件下,这些力学量变化相当缓慢,而且变化范围极小,如果要求测量极小距离或位移时要有较高的分辨率,其他传感器很难做到实现高分辨率要求,纳米位移传感器ZCS1100可以实现高分辨率的需要。
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规格参数:
参数 | 标志 | 值 | 单位 | 备注 |
静态参数 | | | | | | |
| | 最小 | 标准 | 最大 | | |
材质 | | 特种不胀钢 | | |
尺寸 | | 35(长)x 34(直径) | mm | 10mm中孔 |
*范围 | dzp·max | ±7.5 | ±8.0 | | um | |
*比例因子 | Bz1 | 1 | um | ① |
*比例因子误差 | δbz1 | | | 0.1 | % | |
静态刚度 | kz | 20 | N/um | |
共振频率(空载) | f0·0 | 900 | HZ | |
最大负载 | | | | 0.5 | kg | ② , |
动态参数 | | | | | | |
| | 快 | 中 | 慢 | | ③ |
3dB带宽 | Bz·p | 80 | 40 | 40 | HZ | |
*信号响应时间 | tzs·s | 5 | 10 | 30 | ms | ④ |
*位置嗓音 | δZp·n | 0.50 | 0.20 | 0.10 | nm | ⑤ |
转换速率 | Uzp·max | 2 | 1 | 0.5 | um/ms | ⑥ |
误差 | | | | | | |
| | 最小 | 标准 | 最大 | | |
*磁滞(峰峰值) | δzp·hyst | | 0.005 | 0.01 | % | ⑦ |
*线性度(峰值) | δzp·lin | | 0.01 | 0.02 | % | ⑧ |
角度偏差1 | δФz | | | 10 | urad | ⑨ |
角度偏差2 | δУz | | | 10 | urad | ⑨ |