NM-XYZ-100A-Z15H压电陶瓷定位平台是Z-15H与XY-100A组合，保持了10mm的孔，由Super Invar（超因瓦合金）制成。NM-XYZ-100A-Z15H压电陶瓷定位平台的组合提供了X，Y轴120微米的移动范围以及Z轴16微米的移动范围。 

NM-XYZ-100A-Z15H压电陶瓷定位平台应用领域

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高精度显微镜、传送显微镜、光学捕获； 

NM-XYZ-100A-Z15H压电陶瓷定位平台推荐控制器

NM3330

NM-XYZ-100A-Z15H压电陶瓷定位平台主要特点

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X,Y运动范围120微米，Z轴16微米；

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三轴都有高于纳米级的精度和稳定性；

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稳定的平台；

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非常低的磁滞和线性误差<0.005%；

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简单的操作，简易的图像校准；

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现场扫描响应最优化；

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长期稳定性；

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特殊钢材外壳（Super Invar）；