X轴

测量范围

50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000

分辨率

0.2μm

测量方法

反射型光栅尺

驱动速度

0.2mm/s 1mm/a和手动

测量速度

0.02-5mm/s

测量方向

/向后

直线度

3.5μm /50mm

1.5μm/mm(当X轴在水平方向上

指示精度

(20℃)

±(3.5+2L/100)μm

L为驱动长度(mm)

倾斜范围

±45°(CV-2000)

Z1轴

测量范围

25mm(CV-100)或40mm(CV-2000)

分辨率

0.4μm(CV-1000系列)

0.5μm(CV-2000系列)

测量方法

弧形编码器

指示精度

(20℃)

±(3.5+14H/25)μm)

H为水平位置上的测量高度(mm)

探针上下运作

弧形运动

探针方向

向下

测力

10-30mN

跟踪角度

向上

77°

向下

87°

探针针尖

半径

25μm

材料

硬质合金针尖

基座尺寸(WxH)

750x600mm(CV-2000)

基座材料

花岗岩(CV-2000)

重量

主机

5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4)

控制装置

14kg

遥控箱

0.9kg

电源

100-240VAC±10% 50/60Hz

能耗

150W仅限主机