准分子紫外光清洗机
□ 自主知识产权，国际前沿光子处理技术；
□ 国际上玻璃清洗制程的主流技术；
□ 高效快速清洗；
□ 低温大面积加工过程；
□ 瞬间开启和熄灭，节省工艺时间；
□ 安装角度灵活方便，操作使用简单；
□ 电光转化效率高，无废旧回收问题，节能环保；
□ 工件可在大气中进行清洗，便于生产线作业；
□ 可彻底清除物体表面的碳和有机污染物；
□ 干式清洗，无溶剂挥发及废弃溶剂的处理问题；
□ 保证产品的高可靠性和高成品率；
□ 产品表面清洗处理的均匀度一致。
应用领域：
主要在液晶显示器件、半导体硅晶片、集成电路、高精度印制电路板、光学器件、石英晶体、密封技术、带氧化膜的金属材料等生产过程中采用光清洗方法最为合适。
主要材料：ITO玻璃、光学玻璃、铬板、掩膜板、抛光石英晶体、硅晶片和 带有氧化膜的金属等进行精密清洗处理。
可以去除的污垢：有机性污垢、人体皮脂、化妆品油脂、树脂添加剂及聚酰亚胺、石蜡、松香、润滑油、残余的光刻胶等。
技术参数：
项目 EWC70翻盖型（Desktop Style）
适用工件尺寸 4-12 inches
光源配置 1x172 nm
输出波长/半高宽 172/14 nm
单灯最大光强 40 mW/cm2
光照均匀度 ±3%（工件旋转时）
光照时间设定 定时器，0-60 min
额定功率 70 W
功率可变范围 0-100%
灯启动时间 < 1 s
真空反应腔 SUS304不锈钢
观察视窗 KF50视镜（可选）
工件台 可调高度，静止/旋转（可选）
工件装载方式 打开翻盖，露出工件台，装卸工件
进出气口 标配2个，KF15法兰接口
真空系统配置 机械泵（可选）
真空计（10-1Pa）及接口 KF15法兰接口
臭氧中和器和排气系统 可选
供电电源 230V/50Hz
“ON”指示器 有
外观尺寸(长x宽x高) 500x500x400 mm
