測定範圍: X軸:100mm  Z軸: 40mm

驅動部真直度精度: 3.5μm/100mm

驅動部上下移動量: 320mm

驅動部傾斜角度: ±45°

測針追蹤角度: 向上: 77°    往下:87°

驅動速度:
測定速度: 0.2,0.5mm/s
回程速度: 0.5mm/s,手動可 

測針上下作動:
圓弧運動(R=375mm)

測定力: 1~3gf(30mN)

光學尺,分解能X軸0.2μm,Z軸0.5μm
指示精度:
X軸:±(3.5+0.02L/100)μm,
Z軸:±(3.5+|4H|/25)μm

測定倍率
X軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍
Z軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍

數值輸出: RS-232C

重量: 本体部:約116kg

電源: Via AC adapter (100~240V AC,50/60 Hz)