LSM-500S, LSM-501S, LSM-503S
544 系列 — 高精度非接触测量系统
货号: 544-531 (JIS)
544-532 (IEC+FDA)
特点: LSM-500S
• 可测量直径小至ø5μm。
• 超高测量精度，在全测量范围(5μm-2mm)，
内直线度达±0.3μm。
• 超高重复精度达±0.03μm。

特点: LSM-501S
• 超高测量精度，在全测量范围(0.05mm
-10mm) 内直线度达±0.5μm，窄测量 范围
内达±(0.3+0.1ΔD)μm。
• 超高重复精度达±0.05μm。

特点: LSM-503S
• 多用途型，测量范围从0.3mm - 30mm。
• 高测量精度，在全测量范围内直线度达±
1.0μm，在窄测量范围内达 ±(0.6+0.1ΔD)μm
高测量精度。
• 高重复精度达±0.1μm。

LSM-500S 技术参数
测量范围: 0.005 - 2mm
分辨率: 0.00001 - 0.01mm 可选
(.000001" - .0005") ( ): 英制／公制型
20 ºC 时的直线度*:±0.3μm
重复精度 (±2σ): ±0.03μm
工件定位误差: ±0.4μm
测量区域: 1x2mm
激光波长: 650nm, 可见光
扫描速度: 3200scans/s
激光扫描速度: 76m/s
激光可接收标准: IEC 或FDA
* 在测量区域中心
LSM-501S 技术参数
测量范围: 0.05 - 10mm
分辨率: 0.00001 - 0.01mm 可选
(.000001" - .0005") ( ): 英制／公制型
20 ºC 时的直线度*: 全范围: ±0.5μm
窄范围: ±(0.3+0.1ΔD)μm
重复精度 (±2σ): ±0.04μm
工件定位误差: ±0.5μm
测量区域: 2x10mm (ø0.05 - ø0.1mm)
4x10mm (ø0.1 - ø10mm)
激光波长: 650nm, 可见光
扫描速度: 3200scans/s
激光扫描速度: 113m/s
激光可接收标准: IEC 或 FDA
* 在测量区域中心
ΔD= 校正规和工件的直径差
LSM-503S 技术参数
测量范围: 0.3 - 30mm
分辨率: 0.00002 - 0.1mm 可选
(.000001" - .005") ( ): 英制／公制型
20 ºC 时的直线度*: 全范围: ±1.0μm
窄范围: ±(0.6+0.1ΔD)μm
重复精度 (±2σ): ±0.1μm
工件定位误差: ±1.5μm
测量区域: 10x30mm
激光波长: 650nm, 可见光
扫描速度: 3200scans/s
激光扫描速度: 226m/s
激光可接收标准: IEC 或FDA
* 在测量区域中心
ΔD= 校正规和工件的直径差