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全功能微控扩散系统
全功能微控扩散系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。
1、系统组成：a)扩散炉主机b)推拉舟及层流净化台c)气源柜d)排毒柜e）微机控制柜
2、扩散炉管数：1～4管/台
3、炉管内径：φ90㎜×<?xml:namespace prefix = st1 ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags" /><?xml:namespace prefix = st1 />240mm
4、恒温区长度：≤600mm±1℃(300～800℃）≤600mm±0.5℃(800～1250℃）
5、单点稳定性：±1℃/24h(300～800℃） ±0.5℃/24h(800～1250℃）
6、气源路数：≤6路
7、气源控制：MFC或浮子流量计
8、推拉舟行程：最大1500mm
9、推拉舟速度范围及精度：（1～1000）±3mm/min
10、推拉舟位置控制精度：≤3mm
11、冷却方式：水冷+风冷
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