1.靶材技术指标：
纯度：3-4 N
主要成分：Nb2Ox
相对密度：d≥ 99%
实际密度：ρ= 4.6 g•cm-3
2.氧化铌粉体参数：
项目
Items
指标
Standard Value
粉体成
分分析
Bi/ppm <10.00
Mo/ ppm <10.00
F/ ppm <20.00
Mn/ ppm <10.00
Al/ ppm <10.00
Ti/ ppm <10.00
Si/ ppm <10.00
W/ ppm <10.00
Fe/ ppm <10.00
Ni/ ppm <10.00
Cr/ ppm <10.00
As/ ppm <10.00
Ph/ ppm <10.00
Sn/ ppm <10.00
Cu/ ppm <10.00
密度Degree/ g•cm-3 >4.55
电阻率Resistivity/Ω·cm 3<3.0*10-3