产品详情
创新点:之前的CX-200TM采用五轴手动样品台,改进后的样品台升降,采用计算机导航的马达驱动。相对其他四轴,Z轴的调节,是图像质量和分析质量非常重要之变量,在几乎不增加费用的基础上,给高水平的操作带来极大方便。这种创新思路,是其他任何厂商所没有的。
CX-20OTM型是当前先进性和经济性结合最好的大型钨灯丝扫描电镜。
详细信息
主要特点:
中型样品分析室,可接配多种分析附件
五轴机械对中样品台
涡轮分子泵真空系统,无需冷却循环水机
低真空环境模式,绝缘样品可直接观察
全数字化电器,结构紧凑,移动方便
性能指标:
分辨率:3.0nm(30kV,SEI)10nm(3KV,SEI)
4.0nm(30kV,BSEI)
放大倍数:15x~300,000x
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪:预对中钨丝阴极
透镜系统: 2个聚光镜,1个物镜
物镜光阑:4孔可变光阑,摇摆对中合轴
图像电位移和电旋转:±50μm(WD:10㎜);0-360°无限
样品室:内径φ210mm,可接配EDS,BSE,WDS.
样品台及行程:五轴机械对中样品台,Z轴升降计算机导航马达驱动
X:65㎜,Y:40㎜,Z:5~65㎜,T:-20°~+90°,R:360°
最大样品尺寸:160mm(直径)X 71mm(高度)
操作系统:PC机控制,Windows7,21.5英寸彩显,GUI操作软件嵌入多种图像实时分析测量工具,鼠标键盘操作
自动功能:自动聚焦,自动亮度对比度,自动消象散,自动饱和,自动对中,自动偏压电阻。
视频分辨率及帧频:选区模式:320 x 240像素 30帧/秒
TV模式:640 x 480像素 10帧/秒
慢扫描模式:800 x 600像素(3档速度)
扫描模式:1200 x 600像素(SE BSE 双信号)
照相模式:1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840像素
示波器模式
图像格式 JPG,TIFF,BMP
语言英语
真空系统:带安全防护的自动高真空系统,样品室处真空度优于7.5x10-5 Torr,真空度实时显示。
涡轮分子泵260升/秒+旋片式机械泵100L/min
总功率:2KW
外形尺寸和重量:
主机:80(W)x90(D)x150(H)㎝,400㎏
电脑桌:任意