主要特点：
高分辨台式扫描电镜
两轴自动样品台
涡轮分子泵真空系统，无需冷却循环水机
低真空环境模式，绝缘样品可直接观察
全数字化电器，结构紧凑，移动方便
技术指标：
分辨率：7nm＠20kv SEI 
电子枪：发叉式钨丝阴极, 预对中灯丝
放大倍数：X20 to X80，000
加速电压：1kV to 20kV 
探测器：SE Detector，EDS/BSE（可选） 
真空系统：全自动涡轮分子泵系统  
样品台：X axis：35mm（马达驱动） 
            Y axis：35mm（马达驱动） 
            Z axis：0 to 60mm 
            R axis：360度 
样品尺寸：45mm（H），70mm（Diameter） 
视频采集分辨率（Pixel）：选区（320x240），TV（640x480），Slow（800x600）， 
                                  Photo（1280x960，2560x1920，5120x3840） 
帧频：选区 （Max.30 frames/sec），
         TV   （Max.10 frames/sec） 
         Slow （Max.2 frames/sec） 
自动功能：Start，Focus，Filament，Brightness/Contrast 
计算机操作系统：Windows 7 
操作方式：键盘/鼠标，全触摸屏操作（可选） 
外形尺寸：400（W）x 600（L）x 550（H）mm 
重量：100kg