特点

•大幅度提高了驱动速度(X轴：80mm/s, Z2轴：20mm/s)，近一步降低了总测量时间。

•为了在一定时段内维持仪器的直线度规格，三丰公司采用了具有极佳的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。

•大量的外周设备选件支持CNC模式，从而可以很容易实现CNC测量。

•驱动装置(X轴)和立柱(Z2轴)中集成了高精度线性编码器(Z2轴为ABS型)，从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工件的重复精度。

• X轴精度：±(0.8+0.01L)μm,Z1轴精度：±(0.8+|0.5H|/25)μm*，针对高精度工件的测量所设计。

* CV-4100S4, H4, W4型L为驱动长度，H为测量高度(mm)

• CV-4100系列的驱动装置集成了激光全息测微计检测器，在Z轴(垂直方向)的窄／宽测量范围内，提供卓越的精度和分辨率。

技术参数

X轴

测量范围: 100mm或200mm

分辨率: 0.05μm

检测方法:反射型线性编码器

驱动速度: 80mm/s和手动

测量速度: 0.02 - 5mm/s

移动方向:向前／向后

直线度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm

*当X轴在水平方向上指示精度: ±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)(20° C时) ±(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)±(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)

±(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)

* L为驱动长度(mm)倾斜范围: ±45°

Z2轴(立柱)

垂直行程: 300mm或500mm

分辨率: 1μm

检测方法: ABSOLUTE线性编码器

驱动速度: 0 - 20mm/s和手动

Z1轴(检测器)

测量范围: ±25mm

分辨率: 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)

检测方法:线性编码器(CV-3100),

激光全息测微计(CV-4100)

指示精度: ±(2+I4HI/100)μm (CV-3100)(20° C时) ±(0.8+I2HI/100)μm (CV-4100)

*H为水平位置上的测量高度(mm)

测针上／下运作:弧形运动

测针方向:向上／向下

测力: 30mN

跟踪角度:向上：77°、向下：87°

(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)

测针针尖 半径: 25μm、硬质合金针尖

基座尺寸(W x H):750 x 600mm或1000 x 450mm

基座材料:花岗岩

重量

主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)

145kg(S8), 155kg (H8), 160kg (W8)

　控制装置:14kg

　遥控箱: 0.9kg

电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 400W (仅限主机)