本公司生产的抛光片 质量上乘 价格合理 各个参数均达到要求 欢迎咨询选购！
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| 项目 Item | 规格 Specifications |
| 材料 Material | 高纯度单晶Al2O3 |
| 晶向 Orientation | C面（0001）±0.3° |
| 对M轴偏离角度 | 0.20 ± 0.05° |
| 对A轴偏离角度 | 0.0 ± 0.1° |
| 直径 Dismeter | 50.8±0.15mm |
| 厚度 Thickness | 330μm/430μm±25μm |
总厚度偏差TTV | ＜10μm |
| 表面总平整度TIR | ≦10μm |
| 弯曲度 WARP | ≦15μm |
| 翘曲度 BOW | -10 ~ 0μm |
| 定位面方向 Primary Flat Location | A面（11-20） |
| 定位面偏离角度Flat Off-set Angle | 0.0 ± 0.2° |
| 定位边长Primary Flat Length | 16±0.5mm |
| 表面粗糙度Frontside Surface Roughness | RA≦3Å（即Ra≦0.3nm） |
| 背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra) | Ra=0.5~1.0μm |
| 包装 Package | 洁净室内真空冲氮包装 |
