仪器型号

VMS-2010

VMS-3020

VMS-4030

VMS-5040

VMS-6050

工作台

X/Y轴行程

200×100

300×200

400×300

500×400

600×500

Z轴行程

有效空间245mm,调焦行程170mm，工作距离95mm

金属台尺寸

350×220

450×350

550×450

700×600

800×700

玻璃台尺寸

230×130

330×230

430×330

530×430

630×530

传动方式

X/Y轴光杆传动、Z轴光轴传动

数字测量系统

光学尺分辨率：X/Y轴0.0005mm(0.5um)

测量精度：≤3um+L/200重复精度：≤1um+L/200

多功能数据处理器可测点、线、圆、角度等

影像系统

摄像机：日本彩色1/3” CCD摄像机放大倍率30-230X

镜头：NVA高清变倍镜头/连续放大分辨率0.7-4.5X

可选配0.5X物镜时，总放大倍率15-115X

可选配2X物镜时，总放大倍率60-460X

照明系统

表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调

仪器外开尺寸

500×700×1100

550×700×1100

600××750×1100

700×900×1150

850×1050×1200

仪器重量

180

230

260

300

500