单晶硅烘箱 概念 
单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
单晶硅烘箱特点 
1，本系列单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
2，本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠，数字直接显 示出工作温度，直观易读。
3，工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温；能自动切断电源，保护设备和产品。
4，该设备具有超温报警，恒温计时功能。 
单晶硅烘箱工作原理 
■ 单晶硅烘箱箱体结构: 设计完美，箱体采用数控机床加工成型，箱门采用双开式，操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板，外壳为A3板喷塑处理，更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启，方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保烘箱的密闭性。
■ 单晶硅烘箱控制执行系统: 温度控制器采用触摸按键、数显LED显示、PID智能控制仪表； Pt100铂电阻测温传感器；
■ 单晶硅烘箱保护系统: 整机保护系统由超温保护及报警装置构成。保证了执行元器件及试件的完好。 
单晶硅烘箱技术参数