特点：分辨率/重复精度为0.1um/0.5Um时，精度可高达（2+L600）Um。特有的全/半浮动系统可在保证精度的同时达到更快的检测速度。半自动测量时具有单键操作功能。在信息图形界面上用图标显示。可在重复测量中进行自动备份。对每一个测量结果直接进行GO/NG判断。