※设备名称：

 EXP-830手动曝光机 (8KW大台面曝光机)

项次

 内   容

 规    格

1

 电   源

 AC380V  3φ  50/60HZ  35KVA

2

 机台外尺寸

 W1420+*L2700*H1730mm

3

 有效曝光面积

 24" × 32"×2片 

4

 曝 光 台  面

 MYLAR  VS玻璃×２组，采电磁锁控制

5

 灯        管

 8KW ×２PCS(金属卤素灯)

6

 曝光均匀度

 85％以上

7

 冷 却 系 统

 灯管：循环间接水冷式(水套式)

 台面：强制气冷式

8

 曝光控制器

 智能型人机接口及曝光能量控制

9

 真 空 系 统

 -700mm/Hg以上

10

 客户提供使用

 (1)室温：23℃±2℃，湿度：55％-60％之间

 环境及外围设备

 (2).冷却水塔：13吨、流量120L/min、进水温度30℃(依现场配管计算)

   冰水系统：7.5吨、流量50L/min、进水温度7~15℃(依现场配管计算)

   进出水管径1-1/4"、排水管径3/4"

 (3).内部循环水：蒸馏水60L

 (4).外接气源：a. 5Kgf/cm2(流量大于200 L/min)管径1/4"PT快速接头

               b.真空产生器气源：5Kgf/cm2 (流量大于100L/min)

               管径1/4"PT快速接头

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 特  点：

 (1). LCD智能型中(英)文能量强度显示，高频率取样控制系统

 (2).曝光台面采电磁锁控制方式。方便精准。

 (3).上、下框／灯，均可独立能量设定。

 (4).中(英)文版故障异常检知显示系统，方便操作使用。

 (5).可自动控制进水量大小，避免冬夏季及使用冰水机产生问题

 (6).采7.5HP涡卷式压缩机，节省能源功率大

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 备  注：