概述

Edwards有源倒磁控管真空计(AIM)在一个紧凑的有源装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合，均已证明这些真空计坚固可靠。

此真空计具有线性输出，易于与计算机或PLC结合使用。

应用

• 适用于处于1 x 10-2to 1 x 10-9
  mbar范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。典型制程包括从一般真空到工业镀膜机和熔炉再到科学仪器和半导体等各种应用。

功能和优势

• 驱动电子模块与规头合并在一起，降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
• 低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供高级别的抗扰性，并允许使用长电缆（最长可达100 m）
• 低磁场型XL适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜。
• 可更换的管体允许快速更换管件而无需预校准
• 已获CSA C/US批准
• 范围广泛、符合标准的内部电源可使用+13.5到+36 V的标准直流电，对电压波动有很好的承受力
• 0到+10 V直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或PLC和进行故障输出指示
• 电极维修套件允许用户进行清洁和维护
• 独特的放电器设计确保即使在高真空或污染环境下也可以快速放电
• 压力范围更大

技术数据

*准确度在测量范围极限处会降低