原装进口DIS-501 ULVAC爱发科DIS-501 DIS-501干泵真空泵
 | • 双绕式涡旋泵，含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
• 分析设备
• 气体回收系统
• 涂料设备 | • TMP 前级泵
• 氦渗漏探测器
• 半导体制造工艺 |
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| | 单位 | 50Hz | 60Hz | 实际抽速 | L/min | 500 | 600 | 极限压力 | Pa | 1.0 | 马达 | 单相 | | 100/115/200/230V, 600W, 4P, 电容启动运行 | | 三相 | 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P | 满载电流 | 单相 | A | 8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)
| 2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V) | | 三相 | 10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V) | 2.8/2.5/2.5/1.47
(200/208/230/460V) | 重量 | 单相 | kg | 44.0 | | 三相 | 38.0 | 进出气管道直径 | | 进气管KF-40 出气管 KF-25 | 环境温度 | °C | 5 – 40 | 水蒸气处理 | g/天 | ≤25 (A.F. 开启) | 尺寸 | 单相 | mm | 290(W) × 443(L) × 397(H) | | 三相 | 290(W) × 372(L) × 397(H) |
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电压 | 现行电压 | CE 认证 | CSA 认证 | 单相, 100V, 200V, 230V
115V (60Hz) | 标准 |  | | 三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz)
200V, 208V, 230V, 460V (60Hz) | 标准 | | |
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