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一、概述
M-2手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测
量片状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。
换上特制的四探针测试夹具，还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。
仪器由主机、测试探头（可选配测试台）等部分组成，测试结果由数字表头直接显
示。主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。
测试探头采用高耐磨碳化钨探针制成，定位准确、游移率较小、寿命长。
仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电
阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合。
本仪器工作条件为：
温 | 度： | 23℃±2℃ |
相对湿度： | 60%～70% |
工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。 |
二、技术参数 |
1.测量范围 | |
电阻率： | 0.01～199 Ω-cm |
方块电阻： | 0.1～1999 Ω/□ |
电 | 阻： | 0.001～9999 Ω |
2.可测半导体材料尺寸 |
直 | | 径： Φ15～100mm |
长（或高）度： ≤400mm
- 3. 测量方位轴向、径向均可
- 4. 数字电压表：
⑴量程：2V⑵误差：±0.1%FSB±2LSB⑶最大分辨力：10µV⑷精度：18位ADC（5 1/2位）
显示: 4位数字显示
小数点自动显示
5.数控恒流源
⑴电流输出：直流电流2µA～2mA，2µA步进可调，系统自动调整。
⑵误差：±0.1%FSB±0.5LSB
6.四探针测试探头：
⑴探 针 间 距：1mm
⑵探针机械游移率：±1.0%
⑶探 针：碳化钨，Φ0.5mm
7.电源：
DC4.5V～8V
功耗：<1W
电源适配器:输入:220V±10% 50Hz
输出:DC5V±10%
8.外形尺寸：
主机 170mm（长）×130 mm（宽）×50mm（高）
五、使用方法
M-2手持式四探针测试仪能够测量普通电阻器的电阻、体电阻率、薄片电阻率、扩散层的方块电阻，测量时需调整相应的修正系数(修正系数调节见注意事项)。
本产品提供了电阻率测量直接的厚度修正，用户只需要选择样品厚度就可以直接读出电阻率，不需要查表计算厚度修正系数，极大的方便了用户。如果需要，可以再进行形状修正，位置修正（通常对于精度要求不高的情况下，可以不进行修正，具体修正见附录），显示的电阻率直接乘以修正系数即可。
1.操作概述：
⑴测试准备：将电源插头插入电源插座，电源开关置于断开位置，。
将测试探头的插头与主机的输入插座连接起来，测试样品应进行喷砂和清洁处理，
（选配测试台的将样品放在样品架上），调节室内温度使之达到要求的测试条件。将电
源开关置于开启位置，数字显示亮。
探针未与测试样品接触时显示的是修正系数。利用修正系数调节电位器将修正系数
调到适合的值（方法见“注意事项”）
⑵测量：
将探针与样品良好接触，注意压力要适中，即可由数字显示板直接读出测量值。
2.注意事项：
(1)棒状、块状样品电阻率测量:修正系数调至“ 3.50”即电位器的最右端。显示的读
数即为所测样品厚度修正后的电阻率（单位Ω-cm）
(2)薄片电阻率测量:
当薄片厚度>3.5mm时，将修正系数调至“ 3.50”即电位器的最右端。显示的读数即为所测样品厚度修正后的电阻率（单位Ω-cm）。
当薄片厚度<3.5mm时，将修正系数调至与样品厚度相等，显示的读数即为所测样品
厚度修正后的电阻率（单位Ω-cm）。
(3)方块电阻测量:将修正系数调至显示图案“ □ ”，即电位器最左端，显示的读数即
为所测样品的方块电阻（单位Ω/□）。
(4)电阻测量，用四端子测量线作输入线夹持好样品，将修正系数调至图案“ ”，显
示的读数即为所测样品的电阻值（单位Ω）。
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