SZT-5硅材料复合测试仪，是由二种硅材料测试仪器组合而成的

1，二量程的电阻测量仪器，配以手持式四针测试头或座式测试架，可用来测量片状，柱状，或块状，电阻率

在0.01~200欧姆/(客户根据不同的要求可以选择不同的量程，最小可以测量0.0001Ω最大可以测量100000Ω,根据电流档定精度)厘范围内的半导体材料。通过对恒流源的调整，可以对某些测量结果进行修整，例如对普通硅材料的测试结果要乘以0.628的探险头修正系数，对硅材料薄层扩散和导电薄膜“方块电阻“的修正系数为4.53等均可通过调正恒流电流加以处理。

SZT－4数字式四探针测试仪，体形小巧，操作方便，量程适中，十分适於对重炼回料的分选。

2，整流法硅材料P-N极性判别仪，配有三针手持式探头，能对片状或块状电阻率在1000-0.01欧姆/厘米的。硅材料进行极性判别

本仪器工作环境条件为：

温　　度：18℃―25℃

         相对湿度：50%－70%

     工作室内应无强电场干扰，不与高频设备共用电源。

二，技术参数

1,测量范围

（1）电阻率测量

     电阻率       0.01-200Ω-cm

方块电阻       0.01-200Ω-口

电   阻        0.01-200.0Ω

2,数字电压表 

      (1)量   程:       200mV单一量程

      (2)误   差:     读数±0.2%±3字

(3)输入电阻:      >10MΩ

3,恒流源

      (1)电流输出              0~10mA连续可调

      (2)量   程              1mA, 10mA

      (3)误    差              ±0.2%±3字,

4,手持式四探针测试头

(a)探 针 间 距::   1mm

  (b)探针机械游移率:   ±1.0%

  (c)探 针 材 料:    碳化钨,φ0.

(d)压力: 最大2Kg

（2）导电类型判别：

可对电阻率为1000-.0.01欧姆/厘米的硅材料作导电类型测定，同时可以声，光报警方式表示被测材料属于”重掺”。

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