搭载激光器

CO2、YAG、SHG

同时打印范围

100㎜□

对应封装

6英寸　　or 8英寸　　晶圆

画像处理

打印位置校准、印字后检查

集尘装置

外置（装置自带电源）

晶圆搬送

X-Yθ转盘搬送

操作系统

FAPC OS:WINDOWSXP

运行环境

电源：100VAC1500VA　　气压：0.4-0.5Mpa 55Nｌ/min　以下

装置尺寸

1,500(D）1,500(W) 1,700(H) mm600Kg
（不含显示灯等突出物）

UPS

可搭载