大负载型除振装置SAF系列
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这一系列防震平台有着独到的设计,紧凑的外形、很好的扩展性;是理想、大负载隔振的具体体现。 主要特征: 标准高度,185mm; 大负载能力,标准最大负载13 吨; 针对台面上移动的负载特殊设计; 能在洁净空间中使用; 多用途的系统; 主要应用: 半导体、液晶制造或检测领域 例如:半导体传送设备,半导体加工设备,液晶检测仪器等 大型专用设备领域 例如:大型扫描电子显微镜,透射电子显微镜,金属扎机,大型冲压设备等 航空、航天、航海等特殊领域 为精密仪器量身定制的高精度\低成本除振系统 该除振装置不仅拥有优异的性能,同时兼备了很好的灵活性。现如今越来越多的精密仪器需要将除振装置直接与仪器连接,能够 充分满足这类需求的除振装置就是我们的SAF系列。该系列产品不仅拥有优越的除振性能还兼备了很强的拓展性。该系列可以为 精密仪器提供更为理想的除振环境。 ■技术领先\业绩显著的明立除振的空气弹簧式除振系统 采用了在显微镜、激光等的应用技术和半导体制造、检测装置等领域里被广泛使用的,并且有出众业绩的空气弹簧系统。从几个 Hz到几百个Hz的大范围频率频带中它的优越性能都得到了认证和好评。另外即使停止供给空气,空气弹簧下部的防震橡皮也照样 能够保护负载仪器的精密构造。 ■可负载范围广 需要除振的精密仪器每年在种类以及使用目的上都会越来越多样化。根据精密仪器的重量,明立除振拥有从SAF-80到380 的11个 种类的阵容。可以相应的满足从数百公斤甚至到10吨以上的大型精密仪器的负载。 ■也适用于在净化室使用 当在高等级的净化室内使用时,可以改用能集中排放空气的专用于净化室的维持水平传感器。(因为是特殊产品,详细情况请另行 咨询。另外,不可变更为双级传感器。) ■即时应对负载物的移动 当负载物移动、线路板交接、自动加工、测量机等负载量发生变化时,使用弹性体的空气弹簧就必须恢复到原有位置。SAF系列为 了控制空气弹簧,将明立独创的高灵敏度水平传感器作为标准配置,实现了在垂直方向上的重复位置精度达正负200微米。另外, 近年还有些因为移动负载的高加速度导致平台摇晃问题的案例。使用双级传感器既可以减少摇摆时间,同时重复位置精度也可以达到 正负±100微米, 作为被动除振系统对应的移动负载提高到了极限。(如果移动负载摇摆时间上有任何问题,请务必与我们联系。) 选择机种以及组装装置设计的注意事项: ·支持负载台的空气弹簧之间的跨距越大越好. ·负载物(包括负载台)的重心位置,需要在如下图指示范围内. ·在负载台上有移动工作台的状态下,最好在考虑有偏载的条件下选择AP.如果负载台有摇晃的情况,在对稳定时间 有要求的情况下,请联系我们.(如果可以告知移动物的重量,速度,加速度等情况的话, 我们可以告知方法.) ·负载台外周如果有附加物,需要确保10mm以上的空隙。 ·在运输组装装置时,若不能拆开负载台和架台,需要用固定用螺丝或者金属零件等安装后才能运输。 ·为了更好的发挥除振性能,负载台和架台最好都选择高刚性的。 ·SAF系列中,空气弹簧4个为一套是基本配套,如果需要变更个数的话,可以联系我们。 | | |
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需要除振的精密仪器每年在种类以及使用目的上都会越来越多样化。根据精密仪器的重量,明立除振拥有从SAF-80到380 的11个种类的阵容。可以相应的满足从数百公斤甚至到超过10吨的大型精密仪器的负载。
明立除振设备(上海)有限公司专注于除振设备的研究与制造,能提供全系列的防震平台,被动、主动、桌面型、小负载、大负载、精密型、普及型、橡皮隔振、气囊隔振等。产品种类齐全,价格合适。欢迎前来咨询。
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