这一系列防震平台有着独到的设计，紧凑的外形、很好的扩展性；是理想、大负载隔振的具体体现。
 
 主要特征：
                                                                        标准高度，185mm；
       大负载能力，标准最大负载13 吨；
       针对台面上移动的负载特殊设计；
       能在洁净空间中使用；
       多用途的系统；
 
 主要应用：
       半导体、液晶制造或检测领域
  例如：半导体传送设备，半导体加工设备，液晶检测仪器等
       大型专用设备领域
  例如：大型扫描电子显微镜，透射电子显微镜，金属扎机，大型冲压设备等
       航空、航天、航海等特殊领域

为精密仪器量身定制的高精度\低成本除振系统
 该除振装置不仅拥有优异的性能，同时兼备了很好的灵活性。现如今越来越多的精密仪器需要将除振装置直接与仪器连接，能够
  充分满足这类需求的除振装置就是我们的SAF系列。该系列产品不仅拥有优越的除振性能还兼备了很强的拓展性。该系列可以为
  精密仪器提供更为理想的除振环境。
 ■技术领先\业绩显著的明立除振的空气弹簧式除振系统
  采用了在显微镜、激光等的应用技术和半导体制造、检测装置等领域里被广泛使用的，并且有出众业绩的空气弹簧系统。从几个
  Hz到几百个Hz的大范围频率频带中它的优越性能都得到了认证和好评。另外即使停止供给空气，空气弹簧下部的防震橡皮也照样
  能够保护负载仪器的精密构造。

■可负载范围广
 需要除振的精密仪器每年在种类以及使用目的上都会越来越多样化。根据精密仪器的重量，明立除振拥有从SAF-80到380 的11个
  种类的阵容。可以相应的满足从数百公斤甚至到10吨以上的大型精密仪器的负载。
 ■也适用于在净化室使用
  当在高等级的净化室内使用时，可以改用能集中排放空气的专用于净化室的维持水平传感器。（因为是特殊产品，详细情况请另行
  咨询。另外，不可变更为双级传感器。）
 ■即时应对负载物的移动
  当负载物移动、线路板交接、自动加工、测量机等负载量发生变化时，使用弹性体的空气弹簧就必须恢复到原有位置。SAF系列为
  了控制空气弹簧，将明立独创的高灵敏度水平传感器作为标准配置，实现了在垂直方向上的重复位置精度达正负200微米。另外，
  近年还有些因为移动负载的高加速度导致平台摇晃问题的案例。使用双级传感器既可以减少摇摆时间,同时重复位置精度也可以达到
  正负±100微米， 作为被动除振系统对应的移动负载提高到了极限。（如果移动负载摇摆时间上有任何问题，请务必与我们联系。）

选择机种以及组装装置设计的注意事项:

·支持负载台的空气弹簧之间的跨距越大越好.

·负载物(包括负载台)的重心位置,需要在如下图指示范围内.

·在负载台上有移动工作台的状态下,最好在考虑有偏载的条件下选择AP.如果负载台有摇晃的情况,在对稳定时间

有要求的情况下,请联系我们.(如果可以告知移动物的重量,速度,加速度等情况的话, 我们可以告知方法.)

·负载台外周如果有附加物，需要确保10mm以上的空隙。

·在运输组装装置时，若不能拆开负载台和架台，需要用固定用螺丝或者金属零件等安装后才能运输。

·为了更好的发挥除振性能，负载台和架台最好都选择高刚性的。

·SAF系列中，空气弹簧4个为一套是基本配套，如果需要变更个数的话，可以联系我们。