Hicube真空泵组产品优点：
1.涡轮分子泵和前级泵的结合；适合多种应用需求
2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
3. 各部件配合简便，易于保养维修
4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统
5. “即插即用”-无需布线和安装
6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高
7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响
8. 可以直接连接真空计
Hicube真空泵组应用领域：
1.研发2.加速器3.分析和表面物理学4.真空工艺5.电子束焊接6.检漏系统
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：最新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列结合。我们为您提供最新的Classic和Pro系列的Hicube 真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可达5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的Hicube Eco经济型泵组，其抽速范围从35 l/s至67 l/s。
Hicube真空泵组产品规格：
真空泵组 Hicube Pro:
型号 | 连接法兰 | 抽速l/s | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h |
入口 | N2 | Xtradry 150 | Penta | Xtradry 150 | Penta 10 | Penta 20 | Penta 40 |
Hicube 80 | 40 | 35 | 〈1.10-7 | 〈1.10-7 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
Hicube 80 | 63 | 67 | 〈1.10-7 | 〈1.10-7 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
Hicube 80 | 63 | 67 | 〈5.10-10 | 〈5.10-10 | 7.5 | 11 | 22 | 34</SPA, , N> | <, /TR>
Hicube 300 | 100 | 260 | 〈1.10-7 | 〈1.10-7 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
Hicube 300 | 100 | 260 | 〈5.10-10 | 〈1.10-8 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
Hicube 400 | 100 | 355 | 〈1.10-7 | 〈1.10-8 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
Hicube 400 | 100 | 355 | 〈5.10-10 | 〈1.10-8 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
Hicube 700 | 160 | 685 | 〈1.10-7 | 〈1.10-7 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
Hicube 700 | 160 | 685 | 〈5.10-10 | 〈1.10-8 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
真空泵组 Hicube Eco:
真空泵组 Hicube Classic:
真空泵组 技术参数：
真空泵组 Hicube Pro:
真空泵组 技术参数：
真空泵组
