Prep-2型 等离子清洗/刻蚀机；

* 真空舱体(等离子反应舱): Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升) 

* 舱体容量:约2升

* 不锈钢舱体   

* 射频发生器频率 : 40KHZ,13.56MHZ, 2.45GHZ 可选

* 高效针孔电极  

* 铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体 

* 自动计时器控制等离子处理过程  

* 控制系统:半/全自动控制 ,电脑控制,液晶触摸屏控制

* 功率连续可调 0-100W 

* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体 

* 安全保护功能：真空触发、舱门锁 

* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体 

* 外形尺寸：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 电源：AC 220V/50Hz  

* 真空泵：莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h)

选装件 ：* 13.56 MHz 射频发生器   * 2.45 GHz 射频发生器  * 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体

配件选装指南:

·  13.56MHz射频发生器     

 ·  2.45GHz射频发生器    

 ·  半自动控制系统    

 ·  全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统 

 ·  计算机(PC)控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 

·  附加气体通路   

 ·  自动真空舱门   

 ·  设备自动门     

·  条码阅读器   

 ·  偏压测量系统   

 ·  碟型阀   

 ·  排气过滤系统   

 ·  适用于腐蚀性气体系统   

 ·  舱体托盘可订做 - 适合舱体的最佳尺寸   

 ·  粉末处理装置     

·  法拉第容器    

 ·  气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体   

 ·  玻璃舱体(硅酸盐或石英)    

 ·  预热板    

  ·  等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中 

 ·  真空泵抽气入口过滤器     

·  标签打印机   

 ·  标签阅读机   

 ·  加深舱体    

 ·  单体瓶 - 轻松的控制不稳定的液体含量  

·  网络连接系统  

 ·  聚合处理附件    

 ·  气瓶出气减压阀   

·  石英玻璃皿  

 ·  卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等  

·  RIE电极(适用于刻蚀)    

·  旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理           

·  安全阀 

·  服务条约 - 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔… 

 ·  附加的配件     

·  特殊的电极和托盘     

 ·  特殊法兰/附加法兰     

·  特殊软件   

·  特殊真空舱体   

  ·  过程温度测量  

 ·  测试墨水(用于测试表面接触角)    

·  真空泵系统

等离子清洗应用领域:

金属---去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层

汽车制造---用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理

纺织品生产---用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理

生物医疗---培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理。

航空航天---绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理

电子---线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性

半导体行业---晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理

LED---支架清洗封装前预处理

塑料橡胶- --提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

等离子清洗机应用：

1．表面活化/清洗； 2. 等离子处理后粘合;  3. 等离子蚀刻/活化