X轴

测量范围

50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000

分辨率

0.2μm

测量方法

反射型光栅尺

驱动速度

0.2mm/s\\\\\\\\\\\\\\\\1mm/a和手动

测量速度

0.02-5mm/s

测量方向

/向后

直线度

3.5μm /50mm

1.5μm/mm（当X轴在水平方向上

指示精度

（20℃）

±（3.5+2L/100）μm

L为驱动长度（mm）

倾斜范围

±45°（CV-2000）

Z1轴

测量范围

25mm（CV-100）或40mm（CV-2000）

分辨率

0.4μm（CV-1000系列）

0.5μm（CV-2000系列）

测量方法

弧形编码器

指示精度

（20℃）

±（3.5+14H/25）μm）

H为水平位置上的测量高度（mm）

探针上下运作

弧形运动

探针方向

向下

测力

10-30mN

跟踪角度

向上

77°

向下

87°

探针针尖

半径

25μm

材料

硬质合金针尖

基座尺寸（WxH）

750x600mm（CV-2000）

基座材料

花岗岩（CV-2000）

重量

主机

5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4）

控制装置

14kg

遥控箱

0.9kg

电源

100-240VAC±10% 50/60Hz

能耗

150W仅限主机

型号

CV-1000N2

CV-2000N4

CV-2000S4

X1轴测量范围

50mm

100mm

100mm

Z1轴测量范围

25mm

40mm

40mm

Z2轴测量范围

-

250mm

320mm