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主要性能
(1) 进口慢启型成套曝光系统;光强稳定均匀,曝光图案线条精细。
(2) 进口密封橡皮布,柔软且弹性好,柔软耐用,密封性和贴附性特佳。
(3) 采用高性能的真空压缩机,真空吸附,复原性能特佳。
(4) 真空吸气过程完成后,曝光过程开始,真空吸附和曝光过程一体化完成。
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