机械是基础工具:精密机械应用于光学透镜(球面、非球面透镜)和反射镜、聚光镜均要求形状精度在亚微米以上。为适应这种精度远远超过我们思维中想像的要求.
而纳米机床生产出来的光学元件,采用非球面透镜等作为轻量和高性能化的目标。进而使用非球面透镜的高性能的光学系统,
作为能满足超精密车床的因素,以我们的经验可举出以下4点。
①作为机床,对于指令要正确而稳定地充分发挥机床精度的机械系统。
②相对意图的形状,能给予正确的指令,时间不滞后进行运算处理的 NC装置。
③对于NC来的指令,能正确地控制机械系统的伺服系统。
④对机械系统和控制系统不给予坏影响的环境。
进给系统切削时的低速滚珠系统的动态,对走刀对丝杠的精度是有一定的要求。支架轴承采用重视轴向刚性的油静压轴承,使走刀扭矩的变动为最小。
主体及主要部件的材料(拖板、床身和底座等)全部采用膨胀系数H300的铸铁或大理石系列材料,以防止因温度变化造成精度变化。设计成不仅能进行车削、研磨都有很出色的优良性能表现。
纳米级机械加工
用金刚石刀具超精密切削加工有色金属和非金属、能获得Ra0.02-0.002μm的镜面。仔细研磨刀具时、可切1nm厚度的切屑。 这种方法用于平面、圆柱面和非球曲面的镜面切削加工。
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