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供应法国品牌MU400高性能离子减薄仪/离子研磨机
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上海续波光电技术有限公司
中国 上海
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型号
MU400
品牌
法国品牌
应用领域
信息存储介质
原理类型
其他
极限真空度类型
超高真空
该设备用于薄膜处理,性能卓越,代表性用户如:法国科学研究中心(CNRS)、意法半导体(ST)
系统简单配置如下:
Load lock
真空系统: 机械泵Oil pump/Dry pump + 涡轮分子泵/低温泵/电磁泵
离子枪: DC / RF
均匀性:100 mm衬底 +/- 4%, 刻蚀速率降低均匀性优于+/-2%
衬底尺寸:4英寸衬底(4-12英寸可选),水冷。
终端检测系统:SIMS 或激光干涉仪。
控制方式:全自动电脑控制,半自动或手动控制可选。
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