石英坩埚是半导体行业生产中不可缺少的单晶硅放置容器，我司可按照用户要求，定制各类规格坩埚…
电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点
坩埚尺寸 | 外径D | 高度H | 厚度 | R* | r* |
t1 | t2 | t3 |
8" | | 153±3 | 5.5±1.5 | 3 | 8.5 | 305 | 30 |
10" | 254±2 | 178±3 | 6.0±1.5 | 3.5 | 9 | 305 | 70 |
12" | 305±2 | 228±3 | 6.5±1.5 | 4 | 9.5 | 305 | 80 |
14" | 355±2 | 254±3 | 7.5±1.5 | 5 | 10.5 | 400 | 90 |
16" | 404±2 | 305±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 400 | 90 |
18" | 457±2 | 355±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 500 | 120 |
20" | 508±4 | 381±3 | 10±3 | 6 | 11.0 | 500 | 120 |
22" | 558±4.5 | 381±3 | 10±3 | 7 | 11.0 | 558 | 89 |
24" | 610±4.5 | 381±3 | 11±2 | 7±1 | 11.0 | 610 | 89 |
